[发明专利]一种真空进气系统及进气控制方法在审
申请号: | 201911406357.9 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111102173A | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 邑伟;陶玲;谢远来;汪金新;张照元;唐宁;张进新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | F04B41/02 | 分类号: | F04B41/02;F04B37/14;F04B39/10;F04B39/16;F04B49/06;F04B39/14 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空进气系统及进气控制方法,包括有供气单元、传输单元、控制单元、供气终端,所述的供气单元包括有气源、手动截止阀、减压阀及相应连接管路组成,气体从气源经手动截止阀,减压阀调整相应压力进入传输单元;所述的传输单元包括有传输管、绝缘套管、过滤器、气动阀组成;所述的控制调节单元包括有减压阀、电磁阀、流量采集器、控制器组成;所述的供气终端包括有真空转接头、真空角阀、真空接头。本发明系统组成简单,安装拆卸方便,无需复杂的电子仪器。用户可根据需要自行选择气源,具有很强的适应性。工作安全稳定可靠,真空密封性好,自动控制,操作方便简洁,可实现任意时刻自动安全进气。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 系统 控制 方法 | ||
【主权项】:
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