[发明专利]压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911403189.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111024296A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;王志建;杜琦峰;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L19/00;G01L1/14 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 储照良 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压力传感器及其制备方法，所述传感器包括介质层和设于所述介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层，其中，所述介质层包括基体层和分布于所述基体层中的多个孔道，所述孔道与外界连通以使所述孔道内的空气能够排出和吸入，所述孔道的孔壁还附着有压电薄膜层。本发明压力传感器通过孔洞和压电薄膜层的结合，使得检测灵敏度更高。同时，本发明还提供压力传感器的制备方法，该制备方法简单，适合工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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