[发明专利]一种金属微结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属微结构的制备方法，采用负电压放电生成的低温等离子体对金属膜进行放电处理，使得金属膜表面产生规则的形貌。其利用等离子体内部粒子具有的较高能量和含有的紫外、高能电子和自由基等活性成分，作用于金属膜表面产生一系列的物理和化学过程，在金属膜的表面产生侵蚀，进而改变金属膜表面形貌，使其表面出现均匀的点状结构。本发明的方法具有设备简单、操作方便、成本低廉、生产效率高、尤其对环境污染少等优点，且在相同的放电条件下，通过改变放电时间和金属膜的厚度，可调节表面膜结构，可以广泛应用于机械、电子、化学能、原子能、医药卫生、生物等领域，具有很强的实用性和广泛的适用性。