[发明专利]一种用于太赫兹波导内腔表面处理设备在审
| 申请号： | 201911389890.9 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111048881A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 许府 | 申请（专利权）人： | 南京驰韵科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;C23C18/16 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 徐家升 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于太赫兹波导内腔表面处理设备，包括用于放置太赫兹直波导的支架，所述支架的上方设有导流嘴，所述导流嘴的上方连通有用于输送镀液的导管，且所述导流嘴与所述导管之间设有流量控制器，所述导管的一端连接有用于抽出镀液的水泵，所述水泵装配于所述支架的一侧。有益效果：通过将太赫兹直波导装配于支架上，通过将设备整体放置于镀槽中，在通过水泵将镀液抽出通过导管流入导流嘴输送至太赫兹直波导内腔，完成镀液的循环补充。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 赫兹 波导 表面 处理 设备 | ||
【主权项】：
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