[发明专利]一种用于太赫兹波导内腔表面处理设备

说明书

本发明公开了一种用于太赫兹波导内腔表面处理设备，包括用于放置太赫兹直波导的支架，所述支架的上方设有导流嘴，所述导流嘴的上方连通有用于输送镀液的导管，且所述导流嘴与所述导管之间设有流量控制器，所述导管的一端连接有用于抽出镀液的水泵，所述水泵装配于所述支架的一侧。有益效果：通过将太赫兹直波导装配于支架上，通过将设备整体放置于镀槽中，在通过水泵将镀液抽出通过导管流入导流嘴输送至太赫兹直波导内腔，完成镀液的循环补充。

技术领域

本发明涉及通信技术领域，具体来说，涉及一种用于太赫兹波导内腔表面处理设备。

背景技术

在雷达和通信领域，太赫兹技术被使用的越来越多，对太赫兹器件的要求也越来越高，例如太赫兹波导。太赫兹波导因为其频率特性致使太赫兹波导的整体结构会比较细小，其传输微波信号的波导内腔的尺寸会非常小，只有100μm～200μm，个别结构尺寸甚至小于50μm，这种太赫兹波导不仅对于生产制造是个大难题，对于生产制造后的表面镀覆也提出了很高的要求。

太赫兹波导表面镀覆不仅可以提高器件的防腐能力，对其性能提升也有着积极的作用，常用的表面镀覆是镀银或者镀金。但是由于太赫兹波导特殊的尺寸和结构，往往导致电镀时波导内腔电场不稳定甚至没有，化学镀时波导内腔镀液流动缓慢甚至不流动，从而导致镀层不均匀或者漏镀现象。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

针对相关技术中的问题，本发明的目的是提出一种用于太赫兹波导内腔表面处理设备，通过将太赫兹直波导装配于支架上，通过将设备整体放置于镀槽中，在通过水泵将镀液抽出通过导管流入导流嘴输送至太赫兹直波导内腔，完成镀液的循环补充，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种用于太赫兹波导内腔表面处理设备，包括用于放置太赫兹直波导的支架，所述支架的上方设有导流嘴，所述导流嘴的上方连通有用于输送镀液的导管，且所述导流嘴与所述导管之间设有流量控制器，所述导管的一端连接有用于抽出镀液的水泵，所述水泵装配于所述支架的一侧。

进一步的，所述支架内设有卡槽，太赫兹直波导装配于所述卡槽内，且所述卡槽与所述导流嘴相匹配。

进一步的，太赫兹直波导通过螺钉与所述卡槽进行螺纹连接。

进一步的，所述螺钉为不锈钢内六角螺钉。

本发明的有益效果：

本发明通过将太赫兹直波导装配于支架上，通过将设备整体放置于镀槽中，在通过水泵将镀液抽出通过导管流入导流嘴输送至太赫兹直波导内腔，完成镀液的循环补充，而导流嘴内镀液可通过流量控制器进行调节流速，解决化学镀时波导内腔镀液流动缓慢甚至不流动的问题，不仅结构简单实用，而且能高效完成太赫兹直波导内腔的镀液，使得内腔镀层均匀。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本发明实施例的用于太赫兹波导内腔表面处理设备的结构示意图；

图2是根据本发明实施例的用于太赫兹波导内腔表面处理设备的装配示意图。

图中：

1、支架；2、导流嘴；3、导管；4、流量控制器；5、水泵；6、卡槽。

具体实施方式