[发明专利]离子源在审
| 申请号： | 201911382854.X | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111161987A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 胡琅;胡强;徐平;冯杰;侯立涛;方威;尤晶 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | H01J3/04 | 分类号： | H01J3/04 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;黄家豪 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子源，包括：一阴极壳体，其包括底壁、顶壁以及连接底壁和顶壁的侧壁，所述底壁、顶壁以及侧壁围成一容纳空间，所述顶壁上开设有呈迂回曲折延伸的开口，壳体上设置有电极以及一通气孔；一阴极板条，其与所述开口的形状适配，阴极板条设置于所述开口处并沿着所述开口迂回曲折延伸，阴极板条的外侧缘与所述开口的内侧缘间隔预设距离以形成迂回曲折延伸的狭缝；一阳极，其设置于所述壳体内并位于狭缝正对，所述阳极沿着所述狭缝的延伸方向迂回曲折延伸；一永磁体，其设置于所述容纳空间内并位于所述阴极板条相对，所述永磁体沿着所述阴极板条的延伸方向迂回曲折延伸。本发明实施例提供的离子源可以提高离子源的效率，节省空间。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
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