[发明专利]发光器件及其基板与制作方法有效
申请号: | 201911379831.3 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN112331696B | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 陈亚文;史文 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;G03F7/42 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 秦冉冉 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种发光器件及其基板、提高基板表面平坦性的方法,该发光器件基板的制作方法通过对包含有机光阻材料及溶剂的涂层先进行预烘去除溶剂形成有机光阻层,避免直接固化时溶剂挥发影响成膜均匀性,再通过曝光、显影去除有机光阻层上对应凸起结构的区域的部分厚度的有机光阻材料,减小该区域与其他区域的有机光阻材料在固化时收缩量不同导致成膜不均匀的影响,形成平坦程度更高的平坦层,在此平坦层上沉积第一电极,最终可获得平整的几乎无段差的第一电极,从而提高发光器件的发光均匀性。 | ||
搜索关键词: | 发光 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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