[发明专利]应用于硅基光电子芯片晶圆级在线测试的混合探卡在审
| 申请号： | 201911370040.4 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111123072A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 冯朋;肖希;王磊;李淼峰 | 申请（专利权）人： | 武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/311 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 邱云雷 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于硅基光电子芯片晶圆级在线测试的混合探卡，涉及硅光子与光电子集成领域。该混合探卡包括凹形槽阵列衬底、固定在凹形槽阵列衬底上的光纤探针阵列、与光纤探针阵列相连的光纤连接端口阵列、用于控制光纤探针阵列移动的光纤探针阵列控制臂、直流探针阵列、直流探针阵列引出的直流连接端口排线、高频探针阵列、高频探针阵列引出的高频连接端口阵列、用于控制直流探针阵列和高频探针阵列移动的直流高频探针阵列控制臂。本发明能降低硅基光电子芯片晶圆级在线测试的测试成本和测试风险，提高测试效率，兼容大多数硅基光电子芯片的布局。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 光电子 芯片 晶圆级 在线 测试 混合 | ||
【主权项】：
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