[发明专利]电阻式柔性压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911368814.X | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111060238A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;杜琦峰;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 储照良 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电阻式柔性压力传感器及其制备方法，所述制备方法包括：提供第一柔性衬底，采用激光刻蚀所述第一柔性衬底的一表面，形成至少两种高度的微结构；在所述第一柔性衬底带有所述微结构的表面形成导电层，得到第一柔性基板；提供第二柔性基板，其中，所述第二柔性基板包括第二柔性衬底以及设于所述第二柔性衬底一表面上的电极；以及将所述第二柔性基板层叠设置于所述第一柔性基板上，且使所述电极与部分所述导电层相接触，得到电阻式柔性压力传感器。所述制备方法工艺简单、易控制，适合工业化大规模生产，且获得的传感器能够在提高灵敏度的同时提高检测范围和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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