[发明专利]电阻式柔性压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：

提供第一柔性衬底，采用激光刻蚀所述第一柔性衬底的一表面，形成至少两种高度的微结构；

在所述第一柔性衬底带有所述微结构的表面形成导电层，得到第一柔性基板；

提供第二柔性基板，其中，所述第二柔性基板包括第二柔性衬底以及设于所述第二柔性衬底一表面上的电极；以及

将所述第二柔性基板层叠设置于所述第一柔性基板上，且使所述电极与部分所述导电层相接触，得到电阻式柔性压力传感器。

2.根据权利要求1所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，同一高度的所述微结构的数量为大于等于2个。

3.根据权利要求1所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，相邻的两个所述微结构之间的高度不同。

4.根据权利要求1所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述微结构的截面宽度自所述第一柔性衬底的底部向远离所述第一柔性衬底的方向逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述激光刻蚀的条件为：波长小于等于355nm，激光脉冲宽度小于或等于皮秒量级，单脉冲能量为1μJ～200μJ，扫描速度为50mm/s～3000mm/s。

6.根据权利要求1所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述导电层的形成步骤包括：提供含导电材料的溶液，将所述溶液形成于所述微结构的表面，固化得到所述导电层。

7.根据权利要求6所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述导电材料包括银纳米线、碳纳米管、石墨烯中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述电极包括叉指电极。

9.根据权利要求1所述的电阻式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述第一柔性衬底与所述第二柔性衬底的材料均包括聚二甲基硅氧烷、热塑性聚氨酯弹性体、聚三亚甲基碳酸酯中的至少一种。

10.一种电阻式柔性压力传感器，其特征在于，包括：

第一柔性基板，所述第一柔性基板包括第一柔性衬底以及设于所述第一柔性衬底一表面上的至少两种高度的微结构，在所述第一柔性衬底带有所述微结构的表面设置有导电层，且所述第一柔性衬底与所述微结构为一体结构；

第二柔性基板，所述第二柔性基板包括第二柔性衬底以及设于所述第二柔性衬底一表面上的电极，所述第二柔性基板与所述第一柔性基板层叠设置，且所述电极与部分所述导电层相接触。