[发明专利]一种实时监控离子注入剂量的装置及使用方法有效
| 申请号： | 201911364392.9 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111063600B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 马富林;郑刚;曹志伟 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种实时监控离子注入剂量的装置及方法，将边环杯套设在晶圆工作台上，在晶圆工作台上放置晶圆；使晶圆与所述边环杯所在的平面水平扫描离子束；离子束的路径为：由晶圆左边缘经过晶圆中心再扫到晶圆右边缘；根据离子束的宽度和边环杯的尺寸计算离子束经过所述晶圆中心上方某一点时边环杯的面积S2和电流值I2；根据离子束的宽度和边环杯的尺寸计算离子束经过晶圆中心时所述边环杯的面积S1和电流值I1；根据所述面积和电流值得到离子束流值同一水平位置束流的均匀性。边环杯随晶圆上下扫描过程中会一直侦测束流,而且在运动的过程中会一直侦测到晶圆边缘直到晶圆中心的束流,不仅能实时监控出束流的值，而且能实时监控同一水平位置束流的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 监控 离子 注入 剂量 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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