[发明专利]利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用在审
| 申请号： | 201911354320.6 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN110926668A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 林琳;刘瑞琪;王迪;郜晨希;郑旭;远雁;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用，所述压力传感器包括：底部设置开口的壳体、固定于所述壳体内腔中的弹性膜片、入射激光生成组件、以及反射激光探测组件；所述弹性膜片的尺寸与所述壳体内腔的尺寸相配合；所述入射激光生成组件用于将激光入射所述弹性膜片表面，所述反射激光探测组件包括四象限传感器，和设置于所述四象限传感器之前的斜方棱镜，所述四象限传感器用于接收经所述弹性膜片表面反射的激光，并根据反射激光光斑的位移量得到所述弹性膜片因压力变化而产生的形变；所述斜方棱镜用于扩大所述反射激光光斑在所述四象限传感器中的位移量。利用激光反射原理，提高测量精度、分辨率以及测量稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 全反射 原理 提高 测量 精度 压力传感器 及其 应用 | ||
【主权项】：
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