[发明专利]提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备有效
| 申请号： | 201911353814.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN110976439B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 林学春;张志研;余海军;朱厚望;曾全胜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所;长沙航空职业技术学院 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B23K26/073;B23K26/064 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备，其中，该激光清洗方式和设备包括：对电机施加尖顶正弦波信号；通过该电机控制振镜摆动；通过该振镜的摆动将激光器发出的激光光束进行整形；利用整形后的光束进行激光清洗。本发明提供的该激光清洗方式和设备，可使整体光斑分布较为均匀，总体上可以让整个区域接受到较为均匀的激光能量。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 激光 清洗 表面 均匀 程度 方式 设备 | ||
【主权项】：
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