[发明专利]一种纳米金刚石-石墨烯复合薄膜电极及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911352707.8 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111058011A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 胡晓君;蒋梅燕;陈成克;李晓 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/02;G01N27/30;G01N27/416
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 黄美娟;朱思兰
地址: 310014 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种纳米金刚石‑石墨烯复合薄膜,其制备方法为:将金刚石粉末和丙三醇混合,分散均匀,得到金刚石粉研磨膏,用其打磨单晶硅片,之后将硅片清洗,吹干,完成种晶过程;之后将硅片放入热丝化学气相沉积设备,以丙酮为碳源,采用氢气鼓泡方式将丙酮带入到反应室中进行薄膜生长,完成纳米金刚石‑石墨烯复合薄膜的制备;本发明制得的NCD‑G的复合膜,具有较高的稳定性和耐蚀性,且具有相对快速的电子转移速率,该薄膜背景电流极低,电势窗口极宽,有望应用于极端环境下的痕量检测电极领域。
搜索关键词: 一种 纳米 金刚石 石墨 复合 薄膜 电极 及其 制备 方法
【主权项】:
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