[发明专利]一种碳化硅粉料及其制备方法、使用的装置有效
| 申请号： | 201911347884.7 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN110950341B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李加林;李斌;张红岩;高超;刘家朋;李长进 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/977 | 分类号： | C01B32/977 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种碳化硅粉料及其制备方法、使用的装置，属于半导体材料制备领域。该碳化硅粉料的制备方法包括下述步骤：将碳粉在1800‑2000℃除杂后，在惰性气体环境下向碳粉内通入硅烷气，在合成腔内进行一次合成和二次合成后，制得碳化硅粉料；其中，所述一次合成包括：以X流量向合成腔内通入硅烷气，在压力为500‑800mbar和温度为1800‑2300℃，一次合成时间t1为5‑25h；所述二次合成包括：以X+Y*△t的流量向合成腔内通入硅烷气，在压力为500‑800mbar和温度为1800‑2300℃，二次合成时间t2为45‑125h；其中，所述Y为正数，△t为0～t2随着时间一直增长。该碳化硅粉料的制备方法制得的碳化硅粉料的纯度高、粒度均匀，而且可以调节制得的碳化硅粉料的粒径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 料及 制备 方法 使用 装置 | ||
【主权项】：
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