[发明专利]一种基于压电材料的压力传感器及制备方法有效
| 申请号： | 201911347750.5 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN110943156B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 郭建平;陆颢瓒 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/16;H01L41/22;H01L41/29 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于压电材料的压力传感器及制备方法，所述压力传感器由绝缘体上硅作为衬底，在该衬底上设有通过金属电极互联的呈间隔交错排列的d33模式压电材料和结型场效应晶体管。本发明不需要额外电源，能大大简化后续电路，且测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 压电 材料 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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