[发明专利]链式晶圆清洗干燥用链式提升装置有效
| 申请号： | 201911345832.6 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111017487B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 曹七芳 | 申请（专利权）人： | 荆门微田智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G23/06 | 分类号： | B65G23/06;B65G17/16;B65G17/48;B65G23/22;B65G23/30;B65G17/32;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 448000 湖北省荆门市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，传动链条依次绕接在四个链轮上，四个链轮呈梯形分布，传动链条上间隔铰接有多个清洗夹具，清洗夹具用于夹持晶圆，翻转导轨用于将清洗夹具从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具从水平状态翻转为竖直状态；本发明能够实现晶圆清洗干燥处理的连续式生产，大大提高晶圆清洗干燥的生产效率，满足工业化生产要求。 | ||
| 搜索关键词： | 链式 清洗 干燥 提升 装置 | ||
【主权项】：
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