[发明专利]链式晶圆清洗干燥用链式提升装置

权利要求书

1.一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，所述链式提升装置（3）包括传动链条（31）、用于承载传动链条（31）的链条导向轨道（32）、转动设置于机架（1）上的四个链轮（33）、用于驱动传动链条（31）转动的第一驱动件（34）以及设于链式提升装置（3）上端的翻转导轨（35），所述传动链条（31）依次绕接在四个链轮（33）上，四个所述链轮（33）呈梯形分布，传动链条（31）上间隔铰接有多个清洗夹具（36），所述清洗夹具（36）用于夹持晶圆，所述翻转导轨（35）用于将清洗夹具（36）从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具（36）从水平状态翻转为竖直状态，所述清洗夹具（36）包括悬挂板（361）、连接臂（362）、翻转接触滚轮（363）、进气块（364）以及呈环状的夹具框体（365），所述悬挂板（361）轴接在传动链条（31）上，所述连接臂（362）的一端铰接在悬挂板（361）上，所述连接臂（362）的另一端连接进气块（364），所述夹具框体（365）固定连接在进气块（364）上，所述夹具框体（365）上间隔设有用于承载晶圆的滑动托块（366）和用于夹持住滑动托块（366）上的晶圆的卡紧柱塞（367），所述滑动托块（366）与卡紧柱塞（367）之间间隔设置，所述夹具框体（365）内设有用于驱动滑动托块（366）伸出或收回的第一圆环气道以及用于驱动卡紧柱塞（367）伸出或收回的第二圆环气道，所述第一圆环气道与第二圆环气道同心设置，所述进气块（364）设有分别与第一圆环气道和第二圆环气道连通的进气孔，所述翻转接触滚轮（363）用于与翻转导轨（35）配合使清洗夹具（36）从竖直状态翻转为水平状态或从水平状态翻转为竖直状态；所述翻转导轨（35）包括一体成型的第一折弯段、水平段和第二折弯段，所述第一折弯段的一端与水平段的一端连接，所述第二折弯段的一端与水平段的另一端连接，所述第一折弯段的另一端固定在链条导向轨道（32）上，所述第二折弯段固定在链条导向轨道（32）上，所述水平段通过一个导轨支架连接在链条导向轨道（32），还包括机架（1）以及设于机架（1）上的清洗槽（2）， 所述清洗槽（2）相对的两内侧壁上分别设有喷气组件（4），所述喷气组件（4）用于对经过清洗槽（2）清洗后的晶圆进行干燥处理；所述喷气组件（4）包括一端封闭的内喷管（41）、一端封闭的外喷管（42）以及用于驱动内喷管（41）转动的第二驱动件（43），所述外喷管（42）固定在清洗槽（2）上，所述内喷管（41）的开口端活动插入外喷管（42）内，所述内喷管（41）的封闭端与第一驱动件（34）连接，所述内喷管（41）的封闭端的外壁与外喷管（42）的开口端的内壁密封配合，所述第二驱动件（43）固定在外喷管（42）的开口端上，所述外喷管（42）的封闭端设有用于与内喷管（41）内连通的进气嘴（421），所述外喷管（42）的外壁沿其长度方向设有外喷射口（422），所述内喷管（41）的外壁上间隔设有多排内喷射口（411），每排所述内喷射口（411）的形状和口径不同。

2.根据权利要求1所述的一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，所述滑动托块（366）的数量为四个，所述卡紧柱塞（367）的数量为四个，四个所述滑动托块（366）呈十字形分布，四个所述卡紧柱塞（367）呈十字形分布，所述第二圆环气道的数量为两个，两个所述第二圆环气道同心设置，其中一个所述第二圆环气道与相对的两个卡紧柱塞（367）连通，另一个所述第二圆环气道与另一相对的两个卡紧柱塞（367）连通。

3.根据权利要求1所述的一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，所述传动链条（31）包括多个链节，相邻两个所述链节之间通过链板依次铰接在一起，所述悬挂板（361）通过悬挂轴连接在链板上。