[发明专利]一种硼扩散炉的炉门系统有效
| 申请号： | 201911326743.7 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN113008037B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 赵志然;郭立;姬常晓;陈勇平;黄志海;闫海莲 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;F27D7/02;F27D25/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硼扩散炉的炉门系统，包括炉门，所述炉门内侧设有延伸至炉管内的凸部，所述凸部内设有缓冲腔室，所述缓冲腔室侧壁上沿圆周方向设有多个出气孔，所述炉门外侧设有保护气体支路和清洗气体支路，所述保护气体支路和清洗气体支路均与所述缓冲腔室连通。本发明具有结构简单，有利于减少对炉门系统和炉管的腐蚀，提高设备稳定性和使用寿命等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 炉门 系统 | ||
【主权项】：
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