[发明专利]一种硼扩散炉的炉门系统

权利要求书

1.一种硼扩散炉的炉门系统，包括炉门（2），其特征在于：所述炉门（2）内侧设有延伸至炉管（1）内的凸部（21），所述凸部（21）内设有缓冲腔室（22），所述缓冲腔室（22）侧壁上沿圆周方向设有多个出气孔（23），所述炉门（2）外侧设有保护气体支路（3）和清洗气体支路（4），所述保护气体支路（3）和清洗气体支路（4）均与所述缓冲腔室（22）连通，当炉管（1）内进行反应时，通过保护气体支路（3）通入纯净的保护气体，保护气体进入缓冲腔室（22）缓冲后分别从各出气孔（23）排出至炉管（1）内，从而在炉管（1）内壁与凸部（21）之间形成一层保护气帘，所述炉管（1）内壁设有台阶部（11），所述台阶部（11）位于所述出气孔（23）的外周，且台阶部（11）远离所述炉门（2）的一侧为倾斜面。

2.根据权利要求1所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：所述炉门（2）中部设有进气接头（24），多个所述出气孔（23）沿圆周方向均匀布置。

3.根据权利要求2所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：所述保护气体支路（3）上设有第一开关阀（51）、进气端连接有气体流量计（5）且出气端与所述进气接头（24）相连，所述清洗气体支路（4）包括进气管（41）、补水罐（42）、出气管（43）以及设于进气管（41）上的第二开关阀（44），所述进气管（41）的进气端连接所述气体流量计（5）且出气端伸入所述补水罐（42）的液面下，所述出气管（43）的进气端位于补水罐（42）的液面上且出气端与所述进气接头（24）相连。

4.根据权利要求1所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：还包括炉门支撑组件（6），所述炉门（2）外侧固设有炉门夹持柄（25），所述炉门夹持柄（25）与所述炉门支撑组件（6）通过一销轴（61）固定连接。

5.根据权利要求4所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：所述炉门支撑组件（6）包括支撑柄（62）及设于支撑柄（62）的安装座（63），所述安装座（63）上设有凹槽，所述凹槽内设有一对可拆卸的夹持块（64），一对所述夹持块（64）可拆卸连接，所述保护气体支路（3）和清洗气体支路（4）贯穿一对所述夹持块（64），所述炉门夹持柄（25）与所述安装座（63）通过所述销轴（61）固定连接。