[发明专利]一种全尺寸SiC复合材料包壳管化学气相沉积的装置

摘要

本发明属于核包壳材料制造技术领域，具体涉及一种全尺寸SiC复合材料包壳管化学气相沉积的装置。旋转电机放置于炉盖上方，下方与吊挂架相连，保温上盖、外保温层和石墨底座共同组成保温室，石墨底座放置于炉底上方，加热体位于外保温层和内桶之间，内桶放置于加热体和全尺寸碳化硅包壳管之间，吊挂架穿过吸气管下端与全尺寸碳化硅包壳管连接，导气管位于内桶上方，进端通过保温上盖通入沉积室，出端与外部真空管道相连，吸气管进端位于全尺寸碳化硅包壳管上方，出端与外部真空管道相连，测温热偶放置于每段加热体内和内桶之间，每个测温热偶均与测温控温表相连，进气管位于沉积装置的下方和侧方。本发明填补了全尺寸SiC复合材料包壳管制备技术空白。