[发明专利]用于制备DLC的镀膜设备及其应用

摘要

本发明提供一种用于制备DLC的镀膜设备及其应用，其中所述镀膜设备包括一腔体、一组输送管路、至少一抽气装置、至少一抽气管路、一供电装置以及至少一电极支架，其中所述腔体具有一腔室，其中所述电极支架被设置于所述腔室以供支撑该基材，其中所述输送管路被连通于所述腔室并用于向所述腔室内通入气体原料，其中所述抽气装置通过所述抽气管路连通于所述腔室并对所述腔室进行负压操作和控制所述腔室内的气压，其中所述供电装置电连接于所述电极支架，以供所述镀膜设备通过化学气相沉积的方式在该基材的表面制备该DLC薄膜。