[发明专利]批量工艺气体净化系统及相关方法在审
| 申请号： | 201911319002.6 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111346468A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | M·施洛特贝克;D·P·莫菲 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述批量工艺气体净化系统及相关方法，其包含适于在容器的外表面处使用例如气体流的一定体积的气体以在再装填步骤期间、在再装填步骤之后的冷却步骤期间或两者期间控制容器内部的温度的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 批量 工艺 气体 净化系统 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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