[发明专利]批量工艺气体净化系统及相关方法

权利要求书

1.一种批量工艺气体净化器系统，其包括：

净化器，其包括容器，所述容器具有含有净化介质的容器内部，

外壳，其围封所述容器并界定在所述外壳内部且在所述容器外部的空隙，空气循环通道，其在所述外壳中以允许：

环境气体在正输入压力下流入所述空隙；

所述环境气体在所述空隙内的非对流循环；及

循环环境气体在正出口压力下从所述空隙流动到所述外壳的外部；

所述空气循环通道包括：

外壳入口，其允许环境气体在正输入压力下从所述外壳的所述外部流动到所述空隙中；

外壳出口，其允许环境气体在正输入压力下从所述空隙流动到所述外壳的外部；及

批量工艺气体循环系统，其适于致使所述批量工艺气体流入所述容器内部，通过所述净化介质并流出所述容器内部。

2.根据权利要求1所述的批量工艺气体净化器系统，其中所述外壳入口具有至少7平方英寸的开口面积。

3.根据权利要求1所述的批量工艺气体净化器系统，其中所述外壳出口具有至少7平方英寸的开口面积。

4.根据权利要求1所述的批量工艺气体净化器系统，其中所述外壳入口适于接纳入口管道系统的附接。

5.根据权利要求1所述的批量工艺气体净化器系统，其中所述外壳出口适于接纳出口管道系统的附接。

6.根据权利要求1所述的批量工艺气体净化器系统，其进一步包括循环风扇，所述循环风扇包括位于所述空隙内的叶轮以使气态流体在所述空隙内循环。

7.根据权利要求1所述的批量工艺气体净化器系统，其进一步包括：

第二净化器，其包括第二容器，所述第二容器具有含有第二净化介质的第二容器内部，

第二外壳，其围封所述第二容器并界定在所述第二外壳内部且在所述第二容器外部的第二空隙，

第二空气循环通道，其在所述第二外壳中以允许：

环境气体在第二正输入压力下流入所述第二空隙；

所述环境气体在所述第二空隙内的非对流循环；及

循环环境气体在第二负出口压力下从所述第二空隙流动到所述第二外壳的外部；

所述第二空气循环通道包括：

第二外壳入口，其允许环境气体在第二正输入压力下从所述第二外壳的所述外部第二流动到所述第二空隙中；

第二外壳出口，其允许环境气体在第二正输入压力下从所述第二空隙流动到所述第二外壳的外部；及

第二批量工艺气体循环系统，其适于致使所述批量工艺气体流入所述第二容器内部，通过所述第二净化介质并流出所述第二容器内部。