[发明专利]加热装置、蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法在审
| 申请号： | 201911308541.X | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112011767A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 菅原由季;风间良秋 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于将蒸镀材料良好地加热而进行优选的成膜的技术。使用加热装置，其对收容蒸镀材料的容器进行加热，其中，容器具有将被加热后的蒸镀材料放出的开口部、第一区域、及作为与第一区域相比远离开口部的区域的第二区域，加热装置具备对第一区域进行加热的第一加热器、对第二区域进行加热的第二加热器、及分别独立地控制第一加热器和第二加热器的控制部，第二加热器包括第一部分和第二部分，第二部分与第一加热器的距离小于第一部分与第一加热器的距离，控制部在控制第二加热器时，一体地控制第一部分和第二部分，在容器中，向与第一部分相对的区域射入的热量大于向与第二部分相对的区域射入的热量。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 蒸发 方法 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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