[发明专利]加热装置、蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法

说明书

本发明提供一种用于将蒸镀材料良好地加热而进行优选的成膜的技术。使用加热装置，其对收容蒸镀材料的容器进行加热，其中，容器具有将被加热后的蒸镀材料放出的开口部、第一区域、及作为与第一区域相比远离开口部的区域的第二区域，加热装置具备对第一区域进行加热的第一加热器、对第二区域进行加热的第二加热器、及分别独立地控制第一加热器和第二加热器的控制部，第二加热器包括第一部分和第二部分，第二部分与第一加热器的距离小于第一部分与第一加热器的距离，控制部在控制第二加热器时，一体地控制第一部分和第二部分，在容器中，向与第一部分相对的区域射入的热量大于向与第二部分相对的区域射入的热量。

技术领域

本发明涉及加热装置、蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法。

背景技术

近年来，作为显示器的一种，具备使用了有机材料的电致发光的有机EL元件的有机EL装置备受瞩目。在上述有机EL显示器等有机电子设备制造中，具有使用蒸发源装置将有机材料、金属电极材料等蒸镀材料蒸镀在基板上而进行成膜的工序。

蒸镀工序中使用的蒸发源装置具有作为收容蒸镀材料的容器的功能和用于使蒸镀材料的温度上升而使其蒸发并附着于基板的表面的加热功能。以往，为了提高加热功能而进行良好的成膜，提出了能够将蒸镀材料均匀地加热的蒸发源装置。

专利文献1(日本特开2019-031705号公报)公开了在将蒸镀材料的容器(坩埚)在高度方向上分成两个不同的区域(上部区域和下部区域)时，分别独立地进行上部区域和下部区域的加热控制的所谓双加热器型的蒸发源装置的加热装置。在专利文献1中，根据容器内的蒸镀材料的量、蒸镀的进展程度来控制与上部区域对应的上部加热器和与下部区域对应的下部加热器的加热，由此防止突沸的发生、材料向容器开口部的附着。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-031705号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在蒸发源装置的加热控制中，要求进一步抑制突沸、材料向容器开口部的附着、由过加热引起的蒸镀材料的劣化等问题而进行高品质的成膜。本发明鉴于上述课题而做出，其目的在于提供一种用于将蒸镀材料良好地加热而进行优选的成膜的技术。

用于解决课题的手段

为了上述目的，本发明采用以下的结构。即，

一种加热装置，所述加热装置对收容蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，

所述容器具有将被加热后的所述蒸镀材料放出的开口部、第一区域、及作为与所述第一区域相比远离所述开口部的区域的第二区域，所述加热装置具备：

第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；

第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；及

控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器，

所述第二加热器包括第一部分和第二部分，所述第二部分与所述第一加热器的距离比所述第一部分与所述第一加热器的距离小，

所述控制部在控制所述第二加热器时，一体地控制所述第一部分和所述第二部分，

在所述容器中，向与所述第一部分相对的区域射入的热量大于向与所述第二部分相对的区域射入的热量。

本发明还采用以下的结构。即，

一种成膜方法，所述成膜方法向作为被蒸镀体的基板进行利用蒸镀材料的成膜，其中，

所述成膜方法包括使用加热装置对收容于容器的蒸镀材料进行加热而使其蒸发的步骤，