[发明专利]蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201911305385.1 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112011761A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 菅原由季;风间良秋 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源装置、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法，可以通过简单的控制进行控制，以便在针对容器的开口部附近防止过度的温度上升并保持为高温的状态下将蒸镀速率保持恒定。容器(244)具有：放出被加热后的蒸镀材料(242)的开口部(244e)、第一区域(244a)、以及相比第一区域从开口部离开的区域即第二区域(244b)，蒸发源装置具有：对第一区域进行加热的第一加热器、对第二区域进行加热的第二加热器、分别独立地控制第一加热器和第二加热器的控制部、以及配置在第一加热器和第二加热器之间并至少对来自第一加热器的热的至少一部分进行反射的中间反射部件，随着收容于容器的蒸镀材料的减少而提高向第二加热器输入的电力。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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