[发明专利]蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种蒸发源装置，对收容有蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，

所述容器具有：放出被加热后的蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，

所述蒸发源装置具有：

第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；

第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；

控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及

中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，

所述控制部随着收容于所述容器的蒸镀材料的减少而提高向所述第二加热器输入的电力。

2.一种蒸发源装置，对收容有蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，

所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，

所述蒸发源装置具有：

第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；

第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；

控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及

中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，

所述控制部进行第一加热控制和第二加热控制，

在所述第一加热控制中，向所述第一加热器输入第一电力，并且，向所述第二加热器输入第二电力，

在进行所述第一加热控制之后，在所述第二加热控制中，向所述第一加热器输入所述第一电力，并且，向所述第二加热器输入比所述第二电力大的第三电力。

3.如权利要求1或2所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述中间反射部件的与所述第一加热器相向的面为反射面。

4.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述控制部随着收容于所述容器的蒸镀材料的减少，维持所述第一加热器的输出并且增大向所述第二加热器输入的电力。

5.如权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述蒸发源装置还具备检测所述第一加热器附近的温度的温度检测构件，

所述控制部基于所述温度检测构件的检测信号，调节所述第一加热器的输出，以便将所述第一加热器附近的温度保持恒定。

6.如权利要求1或2所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述蒸发源装置具备检测所述蒸镀材料的蒸发速率的速率检测构件，

所述控制部基于来自所述速率检测构件的信号来调节向所述第二加热器输入的电力。

7.如权利要求1或2所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述蒸发源装置具有检测所述第一加热器附近的温度的温度检测构件和检测所述蒸镀材料的蒸发速率的速率检测构件，

所述控制部在基于来自所述速率检测构件的信号而取得的蒸发速率为预先设定的值以下且由所述温度检测构件检测到的温度为预先设定的值以上的情况下，输出错误信号。

8.如权利要求1或2所述的蒸发源装置，其特征在于，

在所述第一加热器的与所述容器相反的一侧，配置有使所述第一加热器的辐射热反射的第一反射部件。

9.如权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于，

在所述第二加热器的与容器相反的一侧，设置有所述第二加热器的第二反射部件。

10.一种成膜装置，其特征在于，具备：

权利要求1或2所述的蒸发源装置；以及

真空腔，在所述真空腔内配置有该蒸发源装置并对被蒸镀体进行所述蒸镀材料的蒸镀。