[发明专利]一种小型化的高灵敏度压电式麦克风在审
| 申请号： | 201911299953.1 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111050256A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;胡博豪;吴志鹏;林炳辉;王磊;朱伟;占惠花 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 杨晓燕 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小型化的高灵敏度压电式麦克风，属MEMS压电器件领域。本发明的压电式麦克风包括具有背腔的衬底和固定于衬底上的压电悬臂梁，压电悬臂梁包括与衬底固定连接的固定端和与固定端连接并悬置于背腔上方的自由端，自由端设有降低压电悬臂梁的谐振频率的质量块，通过调整质量块的参数使器件的谐振频率降低到合适的范围。本发明通过在悬臂梁自由端设置质量块，可有效降低器件谐振频率，提高输出电压，在减小麦克风面积时保持麦克风的灵敏度。同时通过连接悬臂梁和固定框架的压电叠层，将电信号在固定框架上引出；进一步地，阵列多个麦克风，进行串联连接可显著增强输出电信号，进行并联连接可减小麦克风元器件的输出阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小型化 灵敏度 压电 麦克风 | ||
【主权项】：
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