[发明专利]一种小型化的高灵敏度压电式麦克风

权利要求书

1.一种小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，包括具有背腔的衬底和固定于所述衬底上的压电悬臂梁，所述压电悬臂梁包括与所述衬底固定连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，所述自由端设有降低所述压电悬臂梁的谐振频率的质量块。

2.根据权利要求1所述的小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，所述质量块设置在所述压电悬臂梁自由端的上方、下方或端部。

3.根据权利要求2所述的小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，设置在所述压电悬臂梁自由端的上方的质量块是通过图案化沉积的材料形成。

4.根据权利要求2所述的小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，设置在所述压电悬臂梁自由端的下方的质量块是通过背腔刻蚀衬底层形成。

5.根据权利要求1所述的小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，所述压电悬臂梁为单晶片结构，从上至下依次是上电极、压电薄膜、下电极、支撑层。

6.根据权利要求1所述的小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，所述压电悬臂梁为双晶片结构，从上至下依次是上电极、上压电薄膜、中间电极、下压电薄膜、下电极。

7.根据权利要求1所述的具小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，所述压电悬臂梁为多个，且相邻两压电悬臂梁之间设置有间隙，各压电悬臂梁均包括与所述衬底固定连接的所述固定端和所述自由端，且每个自由端均设有所述质量块。

8.根据权利要求7所述的具有调频特性的压电式麦克风，其特征在于，所述压电悬臂梁的形状为扇形、梯形或三角形，组成的接收声压区域为圆形或多边形。

9.根据权利要求1任一项所述的小型化的高灵敏度压电式麦克风，其特征在于，还包括固定框架，所述固定框架设置在所述悬臂梁的外围，且所述固定框架上设有与所述悬梁臂对应的压电叠层，通过连接结构上的压电叠层连接所述悬臂梁的固定端的压电叠层和所述固定框架的压电叠层，从所述固定框架上引出电信号。

10.一种小型化的高灵敏度压电式麦克风装置，其特征在于，包括多个串联或并联的小型化的高灵敏度压电式麦克风，所述具有调频特性的压电式麦克风为权利要求1-9任一项所述的小型化的高灵敏度压电式麦克风。