[发明专利]一种新型的电子显微镜冷却系统在审
| 申请号: | 201911290631.0 | 申请日: | 2019-12-16 |
| 公开(公告)号: | CN111029234A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
| 发明(设计)人: | 杨艳娜;张康;李盛 | 申请(专利权)人: | 河南河大科技发展有限公司 |
| 主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/26;H05K7/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 475000 河南省开*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种新型的电子显微镜冷却系统。本发明包括:复合固固定型储热材料(1);电子显微镜各级磁透镜散热夹层(2);电子显微镜扩散泵包裹层(3);电子显微镜集成电路板散热片(4);温度传感器(5)。本发明适用于需要冷却装置的电子显微镜,用复合固固定型储热材料代替传统的循环水系统,使电子显微镜保持在一定工作温度(高温时储存热量,低温时保护设备)。本发明将冷却循环系统集成在电镜本身,精简了电镜附属设备,降低循环水系统出现问题而导致电子显微镜故障的概率。同时,本系统属于无源装备,易于加工成所需要的各种形状以适配各种型号的电子显微镜及工作场景,具有温控精确、方便安全、节能高效、环境友好等特点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 新型 电子显微镜 冷却系统 | ||
【主权项】:
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