[发明专利]一种新型的电子显微镜冷却系统

权利要求书

1.本发明涉及一种新型的电子显微镜冷却系统，该系统包括：复合固固定型储热材料(1) ；电子显微镜各级磁透镜散热夹层(2)；电子显微镜扩散泵包裹层（3）；电子显微镜集成电路板散热片包裹层（4）；温度传感器（5）。

2.根据权利要求书1中所述的复合固固定型储热材料（1），是一种新型储热材料作为冷却循环的导热介质，属于被动温控，节约了传统循环水等外部设备，且易于加工成所需要的形状和尺寸，具有温控精确、方便安全、节能高效、环境友好等特点。

3.根据权利要求书1中所述的电子显微镜各级磁透镜散热夹层（2），应用于电子显微镜及其工作场景的温控，保证电镜在适宜温度下工作，电子显微镜需要温控的部件主要有：产生强磁场的磁透镜线圈工作时发热，高真空油扩散泵工作时控制油/油气温度，大规模集成电路工作时发热。

4.根据权利要求书1中所述的电子显微镜扩散泵包裹层（3），用来代替循环水给扩散油泵降温，使其工作温度稳定在一定范围内。

5.根据权利要求书1中所述的电子显微镜集成电路板散热片包裹层（4）,用来控制电路板温度，延长电路板使用寿命。

6.根据权利要求书1中所述的温度传感器（5），主要应用于油扩散泵工作温度的设定，既要保证扩散泵底部有足够的热量将液态泵油转换成油蒸汽，又要控制油蒸汽升腾至扩散泵顶部时能够冷却。