[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机在审
申请号: | 201911286844.6 | 申请日: | 2019-12-14 |
公开(公告)号: | CN110819943A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 曹志勇 | 申请(专利权)人: | 曹志勇 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 430068 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:动力箱、镀膜机箱、气阀,所述动力箱顶端面位置连接镀膜机箱且二者内部相互连通,镀膜机箱侧边设有气阀,本发明的有益效果:通过结构中的蒸气夹套与整流舱相互配合减缓蒸气在筒套内的回流速度,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气,并借由分流槽的沟槽形状将蒸气的流速控制为稳定的直线型流体以达到可控的目的,控制蒸气的堆积密度和输出密度防止引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容器 金属化 薄膜 加工 真空镀膜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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