[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机在审
申请号: | 201911286844.6 | 申请日: | 2019-12-14 |
公开(公告)号: | CN110819943A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 曹志勇 | 申请(专利权)人: | 曹志勇 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 430068 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电容器 金属化 薄膜 加工 真空镀膜 | ||
本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:动力箱、镀膜机箱、气阀,所述动力箱顶端面位置连接镀膜机箱且二者内部相互连通,镀膜机箱侧边设有气阀,本发明的有益效果:通过结构中的蒸气夹套与整流舱相互配合减缓蒸气在筒套内的回流速度,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气,并借由分流槽的沟槽形状将蒸气的流速控制为稳定的直线型流体以达到可控的目的,控制蒸气的堆积密度和输出密度防止引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量。
技术领域
本发明涉及电容器加工领域,尤其是涉及到一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。
背景技术
电容器在生产时需要采用金属化薄膜基材进行制造,并在此过程中完成薄膜的卷绕成型,质量过关的金属薄膜对于电容器加工而言显得尤为重要,而金属化薄膜通常使用真空镀膜方式进行制作,在主流的加工方式中会在较高真空度的环境下利用热阴极发射电子在电场作用下成为高能量密度的电子束直接轰击到镀料上,完成蒸发镀膜,不过若是蒸发源附近的蒸气密度高的话,电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用,电子的通量将散失和轨道偏移,同时引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量,基于以上前提,本案研发了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机以解决这个问题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明是通过如下的技术方案来实现:一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:动力箱、镀膜机箱、气阀,所述动力箱顶端面位置连接镀膜机箱且二者内部相互连通,镀膜机箱侧边设有气阀,动力箱整体呈现长方体结构,主要用于放置提供设备驱动的机械构件与电子元件,同时作为线路管的连接载体进行使用,其外壳采用金属材料制成,坚硬的材质特性有助于起到承载来自顶部的镀膜机箱的重量并为其提供防止变形的抗压性能,气阀则是用于排导设备内的蒸气压力的结构,通过结构的调控性能能保证设备内的气压处于正常标准,并保障设备内的高真空度环境状态。
作为本发明进一步技术补充,所述镀膜机箱由蒸气夹套、蒸气出口、筒体、轴承座、整流舱组成,所述蒸气夹套顶端中部位置设有蒸气出口,蒸气夹套两侧连接筒体,筒体一端与轴承座相连,整流舱位于蒸气夹套底部位置并与其相互连通,蒸气夹套为镀膜机箱的核心运转结构,蒸气出口在顶部设有两个,数量上的充足能够保证蒸气排出的速度,防止蒸气在结构内堆积回流而影响蒸气的分布平均性,筒体为镀膜机箱外层的壳体结构,主要是起到结构密封的作用,防止蒸气从设备的缝隙中泄露出,由于加工中所使用的液体为化工类液体,所产生的液体蒸气也是专用于金属化薄膜的镀层,具有一定的化学特性,严密的封堵性能是筒体的重要保障,轴承座用于结构间的轻微调整与分层开启。
作为本发明进一步技术补充,所述蒸气夹套由筒套、降流滤板、蒸气导管、分流槽组成,所述筒套两端均设有降流滤板,降流滤板侧边相邻位置连通蒸气导管且在彼此之间等距排列有分流槽,筒套为蒸气夹套的主体承载结构,一方面是为构件提供连接载体使其相互连通,另一方面则是作为蒸气的流经通道,通过结构的构造使蒸气上升并向两侧导出,降流滤板的板块组成结构内有直径相同的蜂窝状孔洞,能够吸收从其结构中通过的蒸气并减缓蒸气在筒套内的回流速度,防止蒸气再次堆积,蒸气导管则是用于流通蒸气的管道结构,中部的分流槽可将从底部位置上升的蒸气进行均分,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气。
作为本发明进一步技术补充,所述整流舱由舱体、螺旋轮、平流座组成,所述舱体两侧呈上下两个方位设有螺旋轮,平流座连接于舱体底端面且二者相互连通,舱体为整流舱的底部主体结构,是整流舱两大构成部分之一,舱体形成一个两端为斜角的梯形构造,主要用于输入特殊蒸气并使其在内部短暂储存,侧边的螺旋轮则是表面具有螺旋线条构造的中空轮结构,当其高速旋转时会通过中部的孔洞制造出吸引力并由此将舱体中的蒸气向中段位置聚拢,打散蒸气在舱体内的堆积状态,使得蒸气在向上输出时为均匀分布状态。
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