[发明专利]一种基于微纳光波导倏逝场耦合效应的微位移传感器在审
| 申请号： | 201911273065.2 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110926347A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 辛晨光 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于微纳光波导倏逝场耦合效应的微位移传感器，包括位移传感模块和信号处理模块；所述位移传感模块包括光源、微纳波导、探测器，所述微纳光波导由三根波导组成，以串联平行排布的方式置于低折射衬底上，互相间可以实现高效的倏逝场耦合；所述信号处理模块，包括放大电路、整形电路、细分电路、A/D转换器、单片机处理电路等。本发明与现有光学微位移传感器相比，采用了横向尺寸仅为100nm量级的微纳波导作为主要光学元件，结构紧凑、体积减小，有利于此类器件的微型化与集成化。本发明用于微位移的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微纳光 波导 倏逝场 耦合 效应 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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