[发明专利]成膜装置、有机EL面板的制造系统以及成膜方法有效
| 申请号： | 201911270162.6 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111321370B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 宫崎圭介 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C16/04;H10K71/10;H10K50/10;H10K59/12 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供在使掩模与基板贴紧时，防止掩模的挠曲残留的成膜装置、有机EL面板的制造系统以及成膜方法。成膜装置(100)具备掩模保持部(9)、多个磁铁(30)以及磁轭(29)。掩模保持部保持载置玻璃基板(5)的掩模(6)。磁轭具有安装多个磁铁的主面(291)。磁轭被配置在比由掩模保持部保持掩模的位置靠上方的位置，能够转动以使主面成为水平状态或倾斜状态。多个磁铁分别具有与安装于主面的面相反侧的磁极面。多个磁铁包括在沿主面的规定方向上排列的磁铁组。磁铁组包括以第1间隔相邻地配置且磁极面的磁极彼此不同的第1磁铁对、和以比第1间隔宽的第2间隔相邻地配置且磁极面的磁极相互不同的第2磁铁对。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 有机 el 面板 制造 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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