[发明专利]一种增大质量块的电容式三轴加速度计及其制作方法

摘要

本发明公开一种增大质量块的电容式三轴加速度计及其制作方法，所述的微加速度计采用SOI硅片制成，包括惯性质量块、敏感结构、外联电极三部分。惯性质量块为中心对称的米字型结构，包括中心的主质量块，以及延伸出的8个矩形质量块，矩形质量块的另一端通过梁连接锚点。矩形质量块两侧设置有可动梳齿电极，可动梳齿电极与外侧的固定梳齿电极构成敏感结构。外联电极包括锚点电极以及固定电极。本发明制作的三轴微加速度计采用了中心对称的米字形结构，独立检测Z轴加速度，避免了交叉轴干扰。同时利用了部分SOI硅片的底层硅，极大提高了惯性质量，从而可以获得更大的灵敏度。