[发明专利]光学超晶格极化质量测量方法及装置有效
| 申请号： | 201911253977.3 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110702641B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 尹志军;吴冰;倪荣萍;许志城 | 申请（专利权）人： | 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光学超晶格极化质量测量方法，包括如下步骤：用激光器发射一束激光照射超晶格样品，获得该束激光的多级衍射图样；测量所述多级衍射图样的衍射光强，并获得相应的衍射级次；基于所述衍射级次及该衍射级次对应的衍射光强，得出所述超晶格样品在照射位置的占空比；基于所述占空比，得出反映所述照射位置的极化质量的有效非线性系数。该测量方法的设计能够使得极化质量的测量变得简单、测量装置不繁琐、测量精度高。此外，本申请还公开了一种光学超晶格极化质量测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 晶格 极化 质量 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学超晶格极化质量测量方法，其特征在于，包括如下步骤：/n用激光器发射一束激光照射超晶格样品，获得该束激光的多级衍射图样；/n测量所述多级衍射图样的衍射光强，并获得相应的衍射级次；/n基于所述衍射级次及该衍射级次对应的衍射光强，得出所述超晶格样品在照射位置的占空比；/n基于所述占空比，得出反映所述照射位置的极化质量的有效非线性系数。/n
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