[发明专利]光学超晶格极化质量测量方法及装置

权利要求书

1.一种光学超晶格极化质量测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

用激光器发射一束激光照射超晶格样品，获得该束激光的多级衍射图样；

测量所述多级衍射图样的衍射光强，并获得相应的衍射级次；

基于所述衍射级次及该衍射级次对应的衍射光强，得出所述超晶格样品在照射位置的占空比；

基于所述占空比，得出反映所述照射位置的极化质量的有效非线性系数；

所述用激光器发射一束激光照射超晶格样品，获得该束激光的多级衍射图样的步骤之前，包括：

采用正交偏振方式使得激光产生多级衍射图样；

所述采用正交偏振方式使得激光产生多级衍射图样的步骤，包括：

将所述超晶格样品置于两个偏振片之间，且该两个偏振片的偏振方向正交，然后用激光照射偏振片和所述超晶格样品。

2.一种光学超晶格极化质量测量装置，其特征在于，包括：

激光器，用于发射激光照射超晶格样品，形成多级衍射光束；

第一偏振片，置于所述超晶格样品的前侧，以便激光器发射的激光先经由所述第一偏振片偏振后射入所述超晶格样品；

第二偏振片，置于所述超晶格样品的后侧，并且其偏振方向与所述第一偏振片的偏振方向正交；

探测器，用于接收经由所述第二偏振片形成的多级衍射光束，并测量获得多级衍射图样，获得所述多级衍射图样的衍射光强，并获得相应的衍射级次；

第一处理模块，用于基于所述衍射级次及该衍射级次对应的衍射光强，得出所述超晶格样品在照射位置的占空比；

第二处理模块，用于基于所述占空比，得出反映所述照射位置的极化质量的有效非线性系数。