[发明专利]一种替代激光直接成型技术的天线制备方法有效
| 申请号： | 201911253360.1 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN111005003B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳晓平;罗军;张旭;吴先映;庞盼;陈琳;韩然 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/22;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种替代激光直接成型技术的天线制备方法，基体样品通过传输带进入准备室，准备室内有吹干系统保证样品的干净和干燥；基体样品干燥后通过传送带进入预抽室；抽气完成后通过传送带进入缓冲室，缓冲室通过分子泵进行高真空抽气；最后进入处理室，在处理室内进行高能离子注入和低能离子束沉积操作，最后进行样品收集，完成处理流程。本发明提供了一种替代激光直接成型技术的天线制备方法，该方法基于高能离子束技术、低能离子束技术以及相关掩模技术形成具备一定功能的金属天线。通过该方法制备的天线，具有成本低、无需激光粉、耐腐蚀性好、结合强度高、膜层一致性好、表面粗糙度低、环保等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 替代 激光 直接 成型 技术 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
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