[发明专利]氮化镓颗粒回收清扫真空系统在审
| 申请号： | 201911249514.X | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN111013303A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 南琦;刘银 | 申请（专利权）人： | 木昇半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种氮化镓颗粒回收清扫真空系统，包括一根与清扫真空气源相连接、用于通入真空气流的管道冷阱，还包括一个用于防止系统瞬间流量波动的阻燃气体缓冲罐以及多组用于实现氮化镓颗粒回收的集尘模块，阻燃气体缓冲罐与多组集尘模块均借助连接管路与管道冷阱相连接，多组集尘模块间并联设置且均借助连接管路与主真空泵相连接。本发明通过对系统内部件、阀门及管路的优化整合，最大限度上地提升了系统整体的阻燃性，避免了系统维护及回收清扫过程中燃烧现象的发生，不仅充分保障了系统中各部件的安全性、延长了其使用寿命，而且也在一定程度上实现了对系统尾端尾气排放的控制、避免了环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 颗粒 回收 清扫 真空 系统 | ||
【主权项】：
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