[发明专利]氮化镓颗粒回收清扫真空系统

权利要求书

1.一种氮化镓颗粒回收清扫真空系统，包括一根与清扫真空气源相连接、用于通入真空气流的管道冷阱（1），其特征在于：还包括一个用于防止系统瞬间流量波动的阻燃气体缓冲罐（2）以及多组用于实现氮化镓颗粒回收的集尘模块，所述阻燃气体缓冲罐（2）与多组所述集尘模块均借助连接管路与所述管道冷阱（1）相连接，多组所述集尘模块间并联设置且均借助连接管路与主真空泵（3）相连接。

2.根据权利要求1所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：所述管道冷阱（1）的进气端与所述清扫真空气源相连接、所述管道冷阱（1）的出气端借助连接管路分别与所述阻燃气体缓冲罐（2）的进气端以及多组所述集尘模块的进气端相连接，在与所述管道冷阱（1）出气端相连的连接管路上固定设置有用于实现气流通断的第一闸门阀（4），在每条与所述集尘模块的进气端相连的连接管路上均分别固定设置有用于实现气流通断的第二闸门阀（5），在所述第一闸门阀（4）与所述第二闸门阀（5）之间的连接管路上固定设置有用于实现管路初步测温的系统温度传感器（6）。

3.根据权利要求2所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：与所述管道冷阱（1）出气端相连的连接管路以及所述阻燃气体缓冲罐（2）的进气端二者均连接有一用于通入阻燃气体的阻燃气体进气支管，所述阻燃气体进气支管与阻燃气体气源相连接，所述阻燃气体进气支管上固定设置有用于控制阻燃气体注入的气动阀（7）以及用于防止气流倒灌的单向阀（8）。

4.根据权利要求1所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：所述阻燃气体缓冲罐（2）的出气端固定连接有缓冲管路，所述缓冲管路上按序依次固定设置有第一压力表（9）、调压阀（10）、第二压力表（11）以及隔膜阀（12）。

5.根据权利要求2所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：每组所述集尘模块内均包括一用于进行氮化镓颗粒收集的旋风集尘器（13）以及用于氮化镓颗粒二级过滤的微米过滤器（14），所述旋风集尘器（13）的进气端借助连接管路与所述第二闸门阀（5）相连接、所述旋风集尘器（13）的出气端借助连接管路与所述微米过滤器（14）的进气端相连接，在所述旋风集尘器（13）出气端与所述微米过滤器（14）进气端之间的连接管路上固定设置有压力计（15）。

6.根据权利要求5所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：所述旋风集尘器（13）的主体呈漏斗状，所述旋风集尘器（13）的进气端与出气端均设置于其上端部，所述旋风集尘器（13）的上端部固定设置有一用于实现管路二次测温的模块温度传感器（16），所述旋风集尘器（13）的下端部开设有一颗粒出口，所述旋风集尘器（13）的颗粒出口固定连接有一用于氮化镓颗粒回收的颗粒回收桶（17）。

7.根据权利要求5所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：所述微米过滤器（14）的内部设置有一套25微米孔径玻璃纤维滤芯，所述微米过滤器（14）的出气端借助连接管路与一根汇总管路相连接，所述主真空泵（3）的进气端借助连接管路与所述汇总管路相连接，所述主真空泵（3）的出气端固定连接有一根尾气排放管。

8.根据权利要求7所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：在所述微米过滤器（14）出气端与汇总管路之间的连接管路上固定设置有用于控制单条管路开闭的支管球阀（18），在所述汇总管路与所述主真空泵（3）进气端之间的连接管路上固定设置有用于控制系统管路整体开闭的主管球阀（19）。

9.根据权利要求1~8任一所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：系统内的管路间连接均借助KF法兰接口（20）连接。

10.根据权利要求1~8任一所述的氮化镓颗粒回收清扫真空系统，其特征在于：还包括一用于控制系统运作的电控箱（21），系统内的各类电气部件均与所述电控箱（21）电性连接并由其控制驱动。