[发明专利]一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置及使用方法在审
| 申请号: | 201911248661.5 | 申请日: | 2019-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN111007016A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
| 发明(设计)人: | 王津;周常河;贾伟;叶宗浩;李俊杰;金戈;项长铖 | 申请(专利权)人: | 暨南大学 |
| 主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21;G01N21/94 |
| 代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 梁睦宇 |
| 地址: | 510632 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块,所述待测样品设置于偏振照明模块内,所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜,平行光路模块产生的光速通过偏振照明模块,随后依次通过第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜形成光斑传输至图像收集模块。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 检测 透明 材料 表面 微小 颗粒 杂质 装置 使用方法 | ||
【主权项】:
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