[发明专利]一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置及使用方法在审

专利信息
申请号: 201911248661.5 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN111007016A 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 王津;周常河;贾伟;叶宗浩;李俊杰;金戈;项长铖 申请(专利权)人: 暨南大学
主分类号: G01N21/21 分类号: G01N21/21;G01N21/94
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 梁睦宇
地址: 510632 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块,所述待测样品设置于偏振照明模块内,所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜,平行光路模块产生的光速通过偏振照明模块,随后依次通过第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜形成光斑传输至图像收集模块。
搜索关键词: 一种 检测 透明 材料 表面 微小 颗粒 杂质 装置 使用方法
【主权项】:
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