[发明专利]一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置及使用方法

权利要求书

1.一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，其特征在于，包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块，所述待测样品设置于偏振照明模块内，所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜，平行光路模块产生的光速通过偏振照明模块，随后依次通过第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜形成光斑传输至图像收集模块。

2.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，其特征在于，所述相位板为π/2相位板。

3.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，其特征在于，所述相位板位于第一透镜的后焦点处，所述相位板位于第二透镜的前焦点处。

4.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，其特征在于，所述偏振照明模块包括起偏器和检偏器，所述待测样品放置于起偏器和检偏器之间，所述起偏器与检偏器的偏振方向互相垂直。

5.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，其特征在于，所述平行光路模块包括红光激光器、显微物镜、小孔光阑和准直透镜，所述红光激光器的输出光速方向依次设有显微物镜、小孔光阑和准直透镜。

6.根据权利要求5所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，其特征在于，所述小孔光阑的一端位于显微物镜的焦点处，小孔光阑的另一端位于准直透镜的前焦点处。

7.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，其特征在于，所述图像收集模块包括CCD相机与计算机，所述CCD相机位于聚焦显微物镜的焦点处，所述CCD相机与计算机连接。

8.基于权利要求1～7所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)红光激光器发出红光，经过显微物镜聚焦于小孔光阑，红光穿过小孔光阑后通过准直透镜平行射出；

2)平行射出的红光经过起偏器后形成偏振光，偏振光平行入射在待测样品表面发生反射产生反射光，同时偏振光入射到微小颗粒杂质产生衍射光；

3)反射光和衍射光经过检偏器后改变偏振态，随后入射到第一透镜；

4)第一透镜将衍射光和反射光聚焦至相位板，衍射光和反射光通过相位板后相位产生变化随后经过第二透镜变为平行光；

5)平行光入射至聚焦显微物镜，最后在CCD相机上成像光斑，所述CCD相机将光斑图像传输至计算机，由计算机进行图像处理，得到微小颗粒杂质的大小。