[发明专利]一种环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法有效
申请号: | 201911242817.9 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN110954977B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 刘永顺;陶可楷;连高歌;吴一辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用热压工艺制作微透镜阵列,无需曲面加工工艺,操作简单,效率高,误差小适合大面积微透镜阵列的批量化制备;同时,本发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用环烯烃共聚物在熔融状态下受压力重力和表面张力的作用,形成微透镜阵列节省了制作模具的成本和时间;本发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用光刻和刻蚀的方法,在基底上制作微孔阵列,具有良好的阵列均匀性和重复性;本发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用直接热压剥离的方法得到孔径光阑,相对反相光刻对准方法,工序简单易于操作可重复性强,解决了反向光刻对准方法对准工序复杂的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 烯烃 共聚物 透镜 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】:
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