[发明专利]一种环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法有效

专利信息
申请号: 201911242817.9 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN110954977B 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 刘永顺;陶可楷;连高歌;吴一辉 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G02B3/00 分类号: G02B3/00
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用热压工艺制作微透镜阵列,无需曲面加工工艺,操作简单,效率高,误差小适合大面积微透镜阵列的批量化制备;同时,本发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用环烯烃共聚物在熔融状态下受压力重力和表面张力的作用,形成微透镜阵列节省了制作模具的成本和时间;本发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用光刻和刻蚀的方法,在基底上制作微孔阵列,具有良好的阵列均匀性和重复性;本发明提供的环烯烃共聚物微透镜阵列的制备方法,采用直接热压剥离的方法得到孔径光阑,相对反相光刻对准方法,工序简单易于操作可重复性强,解决了反向光刻对准方法对准工序复杂的问题。
搜索关键词: 一种 烯烃 共聚物 透镜 阵列 制备 方法
【主权项】:
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