[发明专利]用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统及其传输方法有效
| 申请号： | 201911235051.1 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN111090221B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李亮 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F13/16;G06F13/42 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统及其传输方法。传输系统包括上位机、PCIe 硬核、引擎控制模块、寄存器读写模块、C2H异步缓冲模块、H2C异步缓冲模块和用户接口模块；上位机和PCIe硬核交互式连接；PCIe硬核和引擎控制模块交互式连接。引擎控制模块包括寄存器模块、中断模块、SGDMA引擎、SGDMA读缓冲池和SGDMA写缓冲池。用户接口模块包括USER寄存器、TX数据发送接口、RX数据接收接口、动态同步存储器DDR4和曝光处理模块。本发明能够解决现有直写光刻式光刻机系统传输带宽能力不足、实时性不高的问题，提高系统分散内存的利用率、稳定性和传输带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 直写式 光刻 系统 中的 pcie dma 数据传输 及其 传输 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司，未经合肥芯碁微电子装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911235051.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
