[发明专利]用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统及其传输方法有效

专利信息
申请号: 201911235051.1 申请日: 2019-12-05
公开(公告)号: CN111090221B 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 李亮 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G06F13/16;G06F13/42
代理公司: 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 代理人: 奚华保
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 用于 直写式 光刻 系统 中的 pcie dma 数据传输 及其 传输 方法
【权利要求书】:

1.用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统,其特征在于:包括上位机、PCIe硬核、引擎控制模块、寄存器读写模块、C2H异步缓冲模块、H2C异步缓冲模块和用户接口模块;所述上位机和PCIe硬核交互式连接;所述PCIe硬核和引擎控制模块交互式连接;

所述引擎控制模块包括寄存器模块、中断模块、SGDMA引擎、SGDMA读缓冲池和SGDMA写缓冲池;所述寄存器模块和SGDMA引擎交互式连接,SGDMA引擎的输出端接中断模块的输入端;所述SGDMA引擎包括H2C引擎和C2H引擎;所述H2C引擎的输出端接SGDMA读缓冲池的输入端;所述C2H引擎的输入端接SGDMA写缓冲池的输出端;

所述用户接口模块包括USER寄存器、TX数据发送接口、RX数据接收接口、动态同步存储器DDR4和曝光处理模块;所述寄存器模块分别与寄存器读写控制模块、用户寄存器交互式连接;所述SGDMA读缓冲池的输出端接H2C异步缓冲模块的输入端,H2C异步缓冲模块的输出端接RX数据接收接口的输入端;SGDMA写缓冲池的输入端接C2H异步缓冲模块的输出端,C2H异步缓冲模块的输入端接TX数据发送接口的输出端。

2.根据权利要求1所述的用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统,其特征在于:所述SGDMA引擎控制模块通过PCIe总线传输数据。

3.根据权利要求1所述的用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统的传输方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:

(1)上位机向SGDMA引擎控制模块发送控制指令,SGDMA引擎控制模块接收到上位机发送的控制指令后,在SGDMA引擎中进行解析;

(2)设数据从上位机发往FPGA部件的传输过程为H2C,数据从FPGA部件发往上位机的传输过程为C2H;其中,H2C为DMA的读操作,C2H为DMA的写操作;

当解析为H2C指令时,SGDMA引擎控制模块先获取描述符请求,再获取描述符,描述符组成分散收集链表形式发送到SGDMA引擎控制模块;当SGDMA引擎控制模块获取到最后一个描述符时,停止获取;当SGDMA引擎控制模块接到描述符时,SGDMA引擎控制模块根据第一个可用描述符向上位机源地址发送读请求,然后上位机发送带数据的完成包,启动H2C引擎,通过PCIe Gen3x8总线被SGDMA引擎接收,并缓存至SGDMA读缓冲池中,再流向H2C异步缓冲模块中,最终流向动态同步存储器DDR4中待曝光处理,传输结束时,中断模块发出中断,通知上位机,此次DMA传输结束;

当解析为C2H指令时,SGDMA引擎控制模块先获取描述符请求,再获取描述符,当达到指令中的传输长度时,不再获取描述符;在获取描述符的同时,SGDMA引擎控制模块根据描述符内容从FPGA部件的数据源地址取数据发往上位机,当达到指令中的传输长度时,不再取数据;若发送结束,由中断模块产生中断,告知上位机,此次DMA传输结束;

(3)寄存器读写模块,通过读取不同寄存器的值,监测当前SGDMA引擎控制模块与用户接口模块之间的状态;通过写入不同寄存器值,控制SGDMA引擎控制模块与用户接口模块之间的状态。

4.根据权利要求3 所述的用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统的传输方法,其特征在于:所述控制指令包括启动C2H的引擎传输,传输长度和接收的缓冲区位置。

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