[发明专利]一种高效碱性光刻胶剥离液在审
| 申请号： | 201911223963.7 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110967946A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王润杰;卢洪庆;陈浩 | 申请（专利权）人： | 苏州博洋化学股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于化学制剂技术领域，涉及一种高效碱性光刻胶剥离液，配方包括10～20wt％二甲基亚砜，10～20wt％一乙醇胺，5～15wt％四甲基氢氧化铵，0.1～1wt％喹啉类缓蚀剂，0.1～2wt％AEO类表面活性剂和余量的去离子水。本高效碱性光刻胶剥离液具有较快的剥离速度，对金属的腐蚀率低，而且使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 碱性 光刻 剥离 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州博洋化学股份有限公司，未经苏州博洋化学股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911223963.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高速时钟驱动电路
- 下一篇：报废灭火器干粉回收再利用生产复合肥的方法
