[发明专利]一种基于铬-铌共掺杂二氧化钒外延薄膜的光热探测单元在审
| 申请号： | 201911220957.6 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN110926604A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 杨远俊;姚迎学;王桂林;黄文宇;王藏敏;张霆;李中军;王志立 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J9/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 卢敏 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于铬‑铌共掺杂二氧化钒外延薄膜的光热探测单元，该光热探测单元包括衬底层、生长在衬底层之上的铬‑铌共掺杂二氧化钒外延薄膜、位于薄膜上的电极层。本发明采用铬‑铌共掺杂二氧化钒外延薄膜作为感光层，与传统的氧化钒(包括二氧化钒等多种物相)光热探测单元相比，具有线性度高、迴滞小、温度响应范围宽且波长可分辨等优势；且与目前商业化的光热探测器相比，本发明的光热探测单元结构简单，易于工业化生产；同时，该光热探测器是非制冷型的，不需要低温工作环境，可应用在微测辐射热计或温度传感器等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 掺杂 氧化 外延 薄膜 光热 探测 单元 | ||
【主权项】：
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