[发明专利]一种磨片机有效
| 申请号： | 201911204695.4 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110900342B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 范桂林;李朝红;王利芳 | 申请（专利权）人： | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B57/04;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 谢绪宁;薛赟 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片生产设备领域，公开了一种磨片机，包括机架，所述机架上固定连接有下磨盘，所述机架上固定连接有打磨电机，所述打磨电机的输出轴上固定连接有转动盘，所述转动盘上升降设置有上磨盘，所述下磨盘上放置有安装片，所述安装片上开设有供硅片放置的放置孔，所述机架上设置有驱动所述安装片移动的驱动组件，所述上磨盘上开设有进料孔道，所述下磨盘与所述上磨盘之间设置有辅助喷砂组件。本发明具有提高打磨效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨片机 | ||
【主权项】：
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